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恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機械密封技術(shù)，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達0.003μm，...

恒歌納米級高壓氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)量身打造。其采用堅固的 316L 不銹鋼整體結(jié)構(gòu)，設(shè)計壓力達 50Mpa，重量相對較輕，實現(xiàn)輕量化與小型化，減少安裝空間，通過螺紋連接確保密封性，兼容 C...

直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì)，線型結(jié)構(gòu)緊湊，用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體，以保護下游流體設(shè)備。最高工作壓力可達207bar；最高工作溫度204℃；多種過濾精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。廣泛應(yīng)用于實驗室、...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

?恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮氣等各類高壓氣體，能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì)，確保氣體的純凈度和質(zhì)量，為下游工藝提供可靠的氣體供應(yīng)。

半導(dǎo)體潔凈室對氣路系統(tǒng)的密封性要求極高，任何微小的泄漏都可能導(dǎo)致潔凈度下降，影響產(chǎn)品質(zhì)量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器)，以全焊接結(jié)構(gòu)設(shè)計為核心，實現(xiàn)了 “零泄漏” 的密封效果，為半導(dǎo)體潔凈室提供可靠的工藝...

這款半導(dǎo)體制造超純氣體擴散器，巧妙地結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性。其過濾精度可達 0.003um，能夠精準(zhǔn)地攔截氣體中的微小顆粒，為半導(dǎo)體制造提供超純的氣體環(huán)境。無論是光刻、刻蝕還是沉積等工藝，都離不開這樣高純度的氣...

恒歌MF系列儀器保護專用過濾器，全金屬材質(zhì)，專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計，兼容1/4”、3/8’及1/2‘VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝，是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護屏障。

恒歌RF 系列多孔金屬限流器通過與不同規(guī)格的氣阻配件靈活組合，可便捷安裝于壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)等對氣體流量穩(wěn)定性要求極高的場景下，它能有效防止意外高氣體流量，保護系統(tǒng)穩(wěn)定可靠運行，減少氣體流動負擔(dān)，...

不銹鋼氣源處理器三聯(lián)件由空氣過濾器、減壓閥和油霧器三大元件組成。該產(chǎn)品采用不銹鋼材質(zhì)，具有耐腐蝕、結(jié)構(gòu)精巧、工藝精良等特點。空氣過濾器用于凈化氣源，過濾壓縮空氣中的水分和雜質(zhì)；減壓閥則對氣源進行穩(wěn)壓，確保氣壓恒定，保護氣動系統(tǒng)中的閥門和執(zhí)行...

DF系列擴散器專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進行設(shè)計。結(jié)合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，不僅確保高效過濾，更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生，...

BF系列大宗氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計，采用全316L不銹鋼精密打造，多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計確保高流通量下低阻損，過濾精度高達0.003um，滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造，是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...