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恒歌在線式大宗氣體系統(tǒng)過濾器專為半導(dǎo)體工藝氣體凈化設(shè)計(jì)，憑借卓越的過濾性能、可靠的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與嚴(yán)格的質(zhì)量管控，成為半導(dǎo)體行業(yè)去除工藝氣體中顆粒的優(yōu)選設(shè)備，為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的氣體潔凈度提供優(yōu)質(zhì)保障，助力提升半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)穩(wěn)定性。

恒歌全焊接直通型過濾器主要用于去除氣體或液體中的顆粒污染物，確保工業(yè)流體系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，氣體的高純度是保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵因素之一。深圳恒歌的高效高純分離納米氣體過濾器，采用先進(jìn)的納米級(jí)過濾技術(shù)，能夠高效去除氣體中的微小雜質(zhì)，確保氣體的高純度。該過濾器采用堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)壓力高達(dá)50Mp...

恒歌TF 系列全焊接直通型過濾器是一種用于過濾氣體或液體中顆粒污染物的設(shè)備，具有全焊結(jié)構(gòu)、高精度過濾等特點(diǎn)。

恒歌國產(chǎn)MF系列儀器保護(hù)專用過濾器(VCR 過濾墊片)，低壓款專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)精心研制。其采用全金屬 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能卓越。該過濾器兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口，采用墊片式...

恒歌納米級(jí)高壓氣體專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)量身打造。其采用堅(jiān)固的 316L 不銹鋼整體結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)壓力達(dá) 50Mpa，重量相對(duì)較輕，實(shí)現(xiàn)輕量化與小型化，減少安裝空間，通過螺紋連接確保密封性，兼容 C...

恒歌壓縮空氣精密過濾器是一款專為高壓氣體(如空氣、天然氣、氮?dú)狻⒀鯕獾?設(shè)計(jì)的高效過濾設(shè)備，能夠有效去除氣體中的水分、油分、灰塵等雜質(zhì)，確保氣體的純凈度和干燥度。

DF系列擴(kuò)散器專用過濾器專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。它結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流，確保氣體的平穩(wěn)流動(dòng)。這種過濾器的過濾精度高達(dá)0.003μm，能夠有效防止氣流吹起...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達(dá)0.003μm，...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造，堅(jiān)固耐用，緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù)，確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達(dá)0.003μm，...

恒歌0F系列在線式專用氣體過濾器是專為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì)的高效過濾設(shè)備。其過濾精度高達(dá)0.003μm，能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質(zhì)，確保氣體的超高純度。該系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼，結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高，與多種半導(dǎo)體...

MF系列儀器保護(hù)專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...