
擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規避了湍流產生,對工藝室...

RF 系列多孔金屬限流器是一種專為壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管設計的安全裝置,旨在防止因氣體管線破裂、閥門或壓力調節器故障引起的意外高氣體流量。通過與不同規格的氣阻配件結合,RF 系列限流器能夠有效保護氣體流量的穩定性和可靠性,減少氣體流...

深圳恒歌的真空卡環過濾器,是真空系統中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流,還能在短時間內傳遞大量氣體流,確保真空系統的高效運行。特別適用于半導體設備接口及各類真空室的通風,無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝,都...

BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態環境下的理想過濾解決...

半導體潔凈室對氣路系統的密封性要求極高,任何微小的泄漏都可能導致潔凈度下降,影響產品質量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器),以全焊接結構設計為核心,實現了 “零泄漏” 的密封效果,為半導體潔凈室提供可靠的工藝...

DF系列擴散器專用過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003μm。獨特的全316L不銹鋼結構,不僅確保高效過濾,更巧妙的規避了湍流產生,...

這款半導體制造超純氣體擴散器,巧妙地結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性。其過濾精度可達 0.003um,能夠精準地攔截氣體中的微小顆粒,為半導體制造提供超純的氣體環境。無論是光刻、刻蝕還是沉積等工藝,都離不開這樣高純度的氣...

恒歌RF 系列多孔金屬限流器通過與不同規格的氣阻配件靈活組合,可便捷安裝于壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中。在半導體制程氣體輸送分配系統等對氣體流量穩定性要求極高的場景下,它能有效防止意外高氣體流量,保護系統穩定可靠運行,減少氣體流動負擔,...

BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計,采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損,過濾精度高達0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構造,是高溫動態環境下的理想過濾解決...

不銹鋼氣源處理器三聯件由空氣過濾器、減壓閥和油霧器三大元件組成。該產品采用不銹鋼材質,具有耐腐蝕、結構精巧、工藝精良等特點。空氣過濾器用于凈化氣源,過濾壓縮空氣中的水分和雜質;減壓閥則對氣源進行穩壓,確保氣壓恒定,保護氣動系統中的閥門和執行...

恒歌不銹鋼阻尼限流器是限制流體(通常是氣體或液體)流動的裝置,通過將逆流限制在校準孔口內來精確控制逆流。這種閥通常用于氣缸、容器或蓄能器的充注管線中其中需要快速充注然后以預定速率回流已充注的流體。

恒歌國產VCR過濾墊片是一種專為高純氣體輸送系統設計的高性能密封元件,廣泛應用于半導體、制藥、化工等對氣體純度要求極高的領域。它通常由316L不銹鋼等優質金屬材料制成,具有耐高溫、耐腐蝕、耐高壓的特性,能夠在高達400C的環境下穩定工作。