在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,氣體過濾器是確保氣體純凈度、提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵設(shè)備。長(zhǎng)期以來,進(jìn)口不銹鋼氣體過濾器在市場(chǎng)上占據(jù)重要地位,但高昂的成本、較長(zhǎng)的供貨周期以及定制化服務(wù)的不足,使得國(guó)內(nèi)企業(yè)對(duì)國(guó)產(chǎn)替代產(chǎn)品的需求日益迫切。恒歌不銹鋼氣體過...

恒歌納米級(jí)高壓氣體專用過濾器是專為半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高效過濾設(shè)備。其堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力,結(jié)合相對(duì)較輕的重量,兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命,能夠高效濾除壓縮空氣中...

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,高純氣體的過濾是確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。特別是在半導(dǎo)體、電子、化工等對(duì)氣體純度要求極高的領(lǐng)域,選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關(guān)重要。恒歌納米級(jí)氣體過濾器憑借其卓越的性能和優(yōu)勢(shì),成為進(jìn)口產(chǎn)品的理想替代方案。

KF系列真空系統(tǒng)是一種廣泛應(yīng)用于中低真空環(huán)境的快速接頭法蘭系統(tǒng),其設(shè)計(jì)旨在實(shí)現(xiàn)快速搭接和拆卸,適合于需要頻繁更換系統(tǒng)配置或進(jìn)行清潔的場(chǎng)景。KF系列真空系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝是關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一,對(duì)氣體純凈度和工藝穩(wěn)定性有著極高的要求。KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能,為CVD工藝提供了可靠的氣體凈化解決方案,以下是其在CVD工藝中的應(yīng)用優(yōu)勢(shì):

恒歌不銹鋼氣體過濾器壓縮空氣氮?dú)庋鯕饩苓^濾器采用不銹鋼316L制成,通過物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,O2,CO,CO2,NMHC等雜質(zhì)去除,并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為0.03μm的顆粒過濾器。

恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮?dú)獾雀黝惛邏簹怏w,能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì),確保氣體的純凈度和質(zhì)量,為下游工藝提供可靠的氣體供應(yīng)。

不銹鋼工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、...

在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,真空系統(tǒng)氣體過濾器對(duì)于保障工藝的純凈度和穩(wěn)定性至關(guān)重要。恒歌KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器憑借其卓越的性能和廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景,成為眾多高科技產(chǎn)業(yè)的首選設(shè)備。

DF系列擴(kuò)散器專用過濾器專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。它結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,能夠有效減少工藝腔體排氣時(shí)的湍流,確保氣體的平穩(wěn)流動(dòng)。這種過濾器的過濾精度高達(dá)0.003μm,能夠有效防止氣流吹起...

恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能氣體過濾設(shè)備。該過濾器采用全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊的體型融合了全焊接與機(jī)械密封技術(shù),確保了過濾器的高可靠性和長(zhǎng)壽命。其過濾精度高達(dá)0.003μm,...

MF系列儀器保護(hù)專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...
