MF系列儀器保護專用過濾器_半導體氣體過濾器

MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏感氣體組件、延長設備壽命、預防因微粒污染導致的泄露風險。可選擇低壓型或高壓型、也可在現有配管上安裝、為精密設備提供經濟高效的防污屏障。產品特點1、整體3

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產品詳情

MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏感氣體組件、延長設備壽命、預防因微粒污染導致的泄露風險。可選擇低壓型或高壓型、也可在現有配管上安裝、為精密設備提供經濟高效的防污屏障。

產品特點

1、整體316L不銹鋼結構

2、可以作為表面密封的過濾器、所以不需要額外的工作(切割/焊接管道用于過濾器安裝)

3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

技術參數

濾芯材質	316L不銹鋼粉末燒結		殼體/墊片材質	316L不銹鋼
表面處理	內表面	拋光+電解Ras0.2um	最高使用溫度	400°C
	外表面	Ra < 1.бum
顆粒攔截粒徑	≥99.9999999%(9LRV)@100slpm (參考MPPS，所有顆粒)		顆粒攔截粒徑	20.3um