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墊片式VCR高純氣體過濾器
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恒歌超高純系統(tǒng)1/4VCR墊片_1/2vcr墊片316L不銹鋼鎳盲墊墊圈

  • 多孔金屬墊片過濾器,保護(hù)精密氣體系統(tǒng)的可靠解決方案:(1)這種全金屬過濾器專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì),可與 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊片接口無縫兼容。(2) 墊圈式設(shè)計(jì)確保安裝簡便,是 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。(3)多孔金屬墊片過濾器可承受高達(dá) 400C 的溫度,有效阻止顆粒侵入、保護(hù)敏感的氣體元件。(4)通過防止與污染有
  • 產(chǎn)品詳情


多孔金屬墊片過濾器,保護(hù)精密氣體系統(tǒng)的可靠解決方案:

(1)這種全金屬過濾器專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì),可與 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊片接口無縫兼容。

(2) 墊圈式設(shè)計(jì)確保安裝簡便,是 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。

(3)多孔金屬墊片過濾器可承受高達(dá) 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入、保護(hù)敏感的氣體元件。

(4)通過防止與污染有關(guān)的泄漏,它可以延長設(shè)備的使用壽命并降低維護(hù)成本。

(5)該過濾器有低壓和高壓兩種型號,可改裝到現(xiàn)有的管道系統(tǒng)中、為保護(hù)精密設(shè)備免受污染提供了經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。

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規(guī)格

技術(shù)參數(shù)細(xì)節(jié)
過濾材料燒結(jié)316L不銹鋼粉末
外殼/墊國材料316L不銹鋼
表面處理(外部)Ras1.6μm
表面處理(內(nèi)部)拋光+電解拋光,Ras0.2μm
最高工作溫度4009C
顆粒截留效率≥99.9999999%(9 LRV)@ 100 slpm(基于 MPPS,適用于所有顆粒)
粒徑捕獲20.3μm
兼容尺寸114"、 3/8"和 1/2" VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊片接口
應(yīng)用半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)、MFC模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器
可用型號低壓和高壓版本

產(chǎn)品特點(diǎn)

產(chǎn)品特點(diǎn)細(xì)節(jié)
材料完全由 316L不銹鋼制成
安裝可用作表面密封過濾器,無需切割或焊接管道等額外工作進(jìn)行安裝
耐用性耐高溫、高壓、耐腐蝕


低壓系列

適用于低壓系統(tǒng)管道

*最大工作壓力0.98Mpa
*流量范圍:0~100slpm

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多孔不銹鋼VCR墊片過濾器的應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造:

●用于氣體分配系統(tǒng),以過濾顆粒并保護(hù)質(zhì)量流量控制器 (MFC)、閥門和調(diào)節(jié)器等敏感元件。

●確保化學(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻等工藝中的潔凈氣體供應(yīng),防止顆粒污染導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷。


2.制藥和生物技術(shù)行業(yè):

●非常適合用于關(guān)鍵工藝的高純度氣體輸送系統(tǒng),如藥品生產(chǎn)中的氣體滅菌或氣體混合。

●通過過濾可能影響產(chǎn)品質(zhì)量的雜質(zhì),確保生產(chǎn)中使用的氣體的完整性。


3.航空航天和高科技制造業(yè):

●應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域先進(jìn)材料、涂層和組件制造所用的精密氣流控制系統(tǒng)。

●可承受極端的溫度和壓力,在苛刻的環(huán)境中提供持久的顆粒過濾。


4.化學(xué)處理:

●適用于存在高溫、高壓和腐蝕性環(huán)境的化工廠供氣管道。

●防止可能破壞化學(xué)反應(yīng)或?qū)е略O(shè)備故障的微粒污染。


5.實(shí)驗(yàn)室和研究設(shè)施

●用于氣相色譜儀、質(zhì)譜儀或其他敏感分析設(shè)備等科學(xué)儀器的高精度氣體輸送系統(tǒng)。

●保護(hù)精密儀器免受微粒污染,提高精度和使用壽命。


6.高純度氣體分配:

●對于需要超潔凈氣體的系統(tǒng)(如電子制造中使用的系統(tǒng))至關(guān)重要,因?yàn)槲廴疚飼茐闹圃爝^程。

●316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)確保了耐用性和耐化學(xué)性,使其適用于惡劣的工作環(huán)境。


7.低溫氣體系統(tǒng):

●適用于低溫氣體輸送系統(tǒng),在醫(yī)療氣體供應(yīng)或液化氣處理等行業(yè)中,過濾掉可能影響低溫工藝性能的顆粒至關(guān)重要。


8.石油和天然氣行業(yè):

●用于煉油廠或石化廠的氣體過濾系統(tǒng),確保清除氣流中的污染物,保護(hù)設(shè)備免受堵塞或磨損。


產(chǎn)品的主要優(yōu)點(diǎn):

*耐高溫和高壓,使過濾器能夠在極端條件下可靠運(yùn)行。

*316L 不銹鋼耐腐蝕,即使在化學(xué)腐蝕性環(huán)境中也能確保較長的使用壽命。

*安裝方便,無需額外切割或焊接,易于改裝到現(xiàn)有系統(tǒng)中。


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