在半導(dǎo)體高壓工藝氣路中，氣體的凈化與流量控制往往需要分開設(shè)備實(shí)現(xiàn)，不僅增加了氣路復(fù)雜度，還可能引入額外的泄漏風(fēng)險(xiǎn)。深圳恒歌研發(fā)的高壓雙卡套過濾器直通過濾閥，將 “高壓過濾” 與 “直通控制” 功能集成一體，為半導(dǎo)體高壓氣路提供 “凈化 + 控制” 的一體化解決方案。

該設(shè)備的核心優(yōu)勢在于超強(qiáng)的耐壓性能，工作壓力可達(dá) 414bar(6000psig)，同時(shí)能在 - 28~+482℃的寬溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行，完全適配半導(dǎo)體高壓離子注入、高壓氣相沉積等工藝場景。雙卡套連接設(shè)計(jì)進(jìn)一步提升了密封可靠性，通過雙重密封結(jié)構(gòu)有效杜絕高壓狀態(tài)下的氣體泄漏，保障生產(chǎn)安全。

在凈化性能上，高壓雙卡套過濾器直通過濾閥具備超高顆粒攔截率，能精準(zhǔn)捕捉 UHP 超純氣流中的微粒雜質(zhì)，確保進(jìn)入工藝設(shè)備的氣體純凈度達(dá)到半導(dǎo)體生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。其直通式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了高通量、低阻力的氣體流動(dòng)，在高效過濾的同時(shí)減少壓力損耗，保障氣路系統(tǒng)的流量穩(wěn)定，不影響生產(chǎn)節(jié)拍。

材質(zhì)方面，設(shè)備采用整體 316L 不銹鋼打造，具備優(yōu)異的耐腐蝕性能，可兼容半導(dǎo)體行業(yè)常用的各類腐蝕性工藝氣體，避免材質(zhì)與氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，確保過濾后氣體的純度不受影響。安裝過程無需焊接，僅需通過雙卡套與氣路對(duì)接緊固即可完成，簡化操作流程的同時(shí)降低雜質(zhì)引入風(fēng)險(xiǎn)。

所有高壓雙卡套過濾器直通過濾閥均經(jīng)過 100% 完整性測試與 100% 氨氣檢漏測試，出廠品質(zhì)有保障。對(duì)于需要同時(shí)實(shí)現(xiàn)高壓氣體凈化與控制的半導(dǎo)體企業(yè)而言，該設(shè)備無疑是提升氣路效率、保障生產(chǎn)安全的理想選擇。