半導(dǎo)體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個(gè)工藝環(huán)節(jié)，不同環(huán)節(jié)對(duì)工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異，單一規(guī)格的過(guò)濾器難以滿足全場(chǎng)景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器，通過(guò) F 型、T 型、W 型三大類(lèi)型的細(xì)分設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)半導(dǎo)體多工藝場(chǎng)景的全面適配，成為行業(yè)通用的凈化核心設(shè)備。

TF 系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器全系采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，具備統(tǒng)一的高品質(zhì)基因：耐高溫(-28~+482℃)、耐高壓(最高可達(dá) 414bar/6000psig)、耐腐蝕，可兼容半導(dǎo)體行業(yè)常用的各類(lèi)工藝氣體，避免材質(zhì)與氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。同時(shí)，全系產(chǎn)品均具備超高顆粒攔截率，能精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流中的微粒雜質(zhì)，保障工藝氣體純凈度，從源頭規(guī)避污染風(fēng)險(xiǎn)。

針對(duì)不同場(chǎng)景需求，系列產(chǎn)品各有側(cè)重：F 型直通式過(guò)濾器以緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，適配空間受限的潔凈室氣路;T 型氣體過(guò)濾器憑借聯(lián)合閥帽設(shè)計(jì)與超高耐壓性能，成為高壓力工藝場(chǎng)景的安全之選;W 型一體式過(guò)濾器(全焊接結(jié)構(gòu))則以零泄漏優(yōu)勢(shì)，滿足潔凈室嚴(yán)苛的密封要求。此外，系列產(chǎn)品均支持高通量、低阻力運(yùn)行，減少壓力損耗，保障氣路流量穩(wěn)定，同時(shí)安裝簡(jiǎn)便，無(wú)需焊接，降低維護(hù)成本。

在品質(zhì)把控上，TF 系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器全系經(jīng)過(guò) 100% 完整性測(cè)試與 100% 氨氣檢漏測(cè)試，每一臺(tái)設(shè)備都符合半導(dǎo)體行業(yè)的嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)工藝需求，用戶可靈活選擇過(guò)濾元件規(guī)格(如 0.5~40μm)，部分型號(hào)還支持旁通道選配、逆流沖洗等功能，進(jìn)一步提升使用便利性(注：F 型規(guī)格 2 無(wú)濾網(wǎng)式濾芯，W 型僅提供濾網(wǎng)式濾芯)。

無(wú)論是半導(dǎo)體芯片制造的核心工藝，還是 LED、光伏等精密電子行業(yè)的氣體處理，TF 系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器都能以多場(chǎng)景適配能力與可靠的凈化性能，為企業(yè)提供定制化的工藝氣體凈化解決方案。