高純度多孔金屬限流器_氣體高流量過濾器100%氦氣測試

RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器，通過與不同規格的氣阻配件結合，安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中，以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節器故障，引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統中，用于保護氣體流量穩定可靠，減少氣體流動負擔，避免氣體過載引發不良后果。結構堅固，更換便捷。

咨詢熱線：13544009780
立即咨詢

產品詳情

RF系列多孔金屬限流器：壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中，保護氣體流量穩定可靠，它通過與不同規格的氣阻配件結合、安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節器故障、引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統中、用于保護氣體流量穩定可靠、減少氣體流動負擔、避免氣體過載引發不良后果。結構堅因、更換便捷。

多孔金屬限流器特點：

1、結構緊湊、節省空間

2、通過更換氣阻配件、可定制不同流量

3、流量控制可靠持久

4、可用于高流量、高溫度與高壓力環境、減少氣體流動負擔、不易堵塞、可形成層流整體316L不銹鋼結構、無結構彎曲或顆粒脫落

5、使用壽命長

6、100%氨氣泄露檢測通過

技術參數

濾芯材質	316L不銹鋼粉末燒結	殼體材質	316L不銹鋼
流量范圍	0.1sccm~40slpm	最大工作壓差	1500psig
精度	+7.5% Base	可重復性	士0.1%
最高使用溫度	460℃	氦氣泄漏率	1x10^-10cc/min
密封面尺寸	1/4"'VCR