恒歌高純高壓氣體專用過(guò)濾器是專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計(jì)的高性能過(guò)濾設(shè)備,過(guò)濾精度高,耐高壓耐腐蝕耐高溫!
恒歌氣體純化過(guò)濾器采用不銹鋼316L制成,通過(guò)物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,O2,CO,CO2,NMHC等雜質(zhì)去除,并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過(guò)濾精度為3納米到100微米的顆粒過(guò)濾器。
恒歌高壓氣體專用過(guò)濾器、用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合、兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長(zhǎng)壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)?..
適用于高壓工況下的氣體及液體過(guò)濾,體積小,安裝方便,為高壓運(yùn)行系統(tǒng)提供了相當(dāng)高的技術(shù)和經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì)。產(chǎn)品應(yīng)用范圍廣,與大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性;微納米顆粒過(guò)濾能力保持高流量效率,超小壓降
恒歌不銹鋼高純氣體系統(tǒng)過(guò)濾器對(duì)于超純氣體可通過(guò)多級(jí)處理滿足工況要求,產(chǎn)品無(wú)焊接部位,耐壓性能、安全系數(shù)極高,適用于高壓工況下的氣體及液體過(guò)濾,體積小,安裝方便,為高壓運(yùn)行系統(tǒng)提供了相當(dāng)高的技術(shù)和經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì)。為一些超高壓工況研發(fā)設(shè)計(jì),具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)...
?恒歌高壓氣體過(guò)濾器主要用于過(guò)濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮?dú)獾雀黝惛邏簹怏w,能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質(zhì),確保氣體的純凈度和質(zhì)量,為下游工藝提供可靠的氣體供應(yīng)。
擴(kuò)散器專用過(guò)濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過(guò)濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對(duì)工藝室...
半導(dǎo)體氣體過(guò)濾器_超高壓氮?dú)鈿錃飧呒冞^(guò)濾器大型設(shè)備
BF系列大宗氣體專用過(guò)濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤(pán)狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過(guò)濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過(guò)濾解決...
BF系列大宗氣體專用過(guò)濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤(pán)狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過(guò)濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過(guò)濾解決...
BF系列大宗氣體專用過(guò)濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤(pán)狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損、過(guò)濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求,整體金屬構(gòu)造、是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過(guò)濾解決...
我們的燒結(jié)在線金屬氣態(tài)過(guò)濾器是一種高效、可靠的氣體凈化設(shè)備,廣泛應(yīng)用于對(duì)氣體純度要求極高的工業(yè)領(lǐng)域。該過(guò)濾器能夠有效去除氣流中的多種雜質(zhì),包括水分、氧氣、二氧化碳、一氧化碳、碳?xì)浠衔锖徒饘亵驶取T趥鹘y(tǒng)顆粒過(guò)濾效果不佳的區(qū)域,我們的濾芯依...