電子氣作為半導(dǎo)體制造的 “血液”，其純度直接影響芯片的質(zhì)量與性能。深圳恒歌的特氣柜電子氣氣體過濾器，專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)打造，為電子氣的潔凈輸送提供堅(jiān)實(shí)保障。

產(chǎn)品采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，這種材質(zhì)具備卓越的耐腐蝕性和穩(wěn)定性，能夠適應(yīng)電子氣的特殊性質(zhì)，同時(shí) 50Mpa 的設(shè)計(jì)壓力滿足了高壓輸送的需求。相對(duì)較輕的重量實(shí)現(xiàn)了小型化、輕量化設(shè)計(jì)，有效減少安裝空間，讓特氣柜內(nèi)部布局更合理，便于系統(tǒng)集成。

過濾效率是其核心優(yōu)勢(shì)。能夠精準(zhǔn)濾除電子氣中可能存在的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)，確保電子氣純度達(dá)到電子級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，避免因氣體污染導(dǎo)致的芯片缺陷，保障生產(chǎn)設(shè)備高效運(yùn)行。同時(shí)，過濾器具備高透氣性，在高效過濾的同時(shí)不會(huì)影響氣體的輸送效率。

在使用便利性上，產(chǎn)品細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)周到。螺紋連接確保了整體的密封性，且兼容 C 型和 W 型多種密封規(guī)格，適配不同的連接需求。濾芯可更換的設(shè)計(jì)讓維護(hù)變得簡(jiǎn)便快捷，降低了后續(xù)運(yùn)營(yíng)成本。每臺(tái)過濾器都經(jīng)過 100% 完整性測(cè)試和 100% 氨氣泄露檢測(cè)，以嚴(yán)苛的品質(zhì)管控，為電子氣的潔凈輸送保駕護(hù)航，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。