?恒歌高壓氣體過濾器主要用于過濾空氣、氧氣、二氧化碳、氫氣、氮氣等各類高壓氣體,能夠有效去除氣體中的顆粒物、水分、油分等雜質,確保氣體的純凈度和質量,為下游工藝提供可靠的氣體供應。

深圳恒歌的真空卡環過濾器,是真空系統中不可或缺的部件。它不僅能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流,還能在短時間內傳遞大量氣體流,確保真空系統的高效運行。特別適用于半導體設備接口及各類真空室的通風,無論是CVD、PVD、Etch還是Epi工藝,都...

半導體潔凈室對氣路系統的密封性要求極高,任何微小的泄漏都可能導致潔凈度下降,影響產品質量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型過濾器(W 型一體式過濾器),以全焊接結構設計為核心,實現了 “零泄漏” 的密封效果,為半導體潔凈室提供可靠的工藝...

這款半導體制造超純氣體擴散器,巧妙地結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性。其過濾精度可達 0.003um,能夠精準地攔截氣體中的微小顆粒,為半導體制造提供超純的氣體環境。無論是光刻、刻蝕還是沉積等工藝,都離不開這樣高純度的氣...

恒歌 316L 不銹鋼超高純氣體過濾器,專為嚴苛的高純度氣體過濾場景而生。其濾芯采用食品級 316L 不銹鋼材質,經先進粉末冶金工藝精密制造,具備高強度、耐高溫、超長使用壽命及出色的耐化學腐蝕性能。316L 不銹鋼材質憑借其極低的碳含量和優...

不銹鋼快裝氣體過濾器的工作原理是通過不銹鋼過濾器內部的細小孔隙來捕捉和過濾空氣中的雜質和顆粒物。當含有雜質的氣體通過過濾器時,雜質會被攔截在過濾器內部,并通過不銹鋼接頭排出。同時,通過調整過濾器的過濾精度和阻力,可以控制氣體的流量和過濾效果...

在半導體制造、電子特氣及高純氣體輸送系統中,氣體純度的每一個微小波動,都可能直接影響良率與穩定性。針對高純、高壓、嚴苛工況應用場景,我們推出—不銹鋼高純高壓卡套過濾器,專為半導體工藝氣體凈化而設計,兼顧超高過濾效率、安全可靠性與便捷安裝維護...

Y型過濾器是輸送介質的管道系統不可缺少的一種過濾裝置,Y型過濾器通常安裝在減壓閥、泄壓閥、定水位閥或其它設備進口端,用來清除介質中的雜質,以保護閥門及設備的正常使用。Y型過濾器具有結構先進,阻力小,排污方便等特點。Y型過濾器適用介質可為水、...

在半導體高壓工藝氣路中,氣體的凈化與流量控制往往需要分開設備實現,不僅增加了氣路復雜度,還可能引入額外的泄漏風險。深圳恒歌研發的高壓雙卡套過濾器直通過濾閥,將 “高壓過濾” 與 “直通控制” 功能集成一體,為半導體高壓氣路提供 “凈化 + ...

特種氣體在半導體、光伏、化工、制藥這些高端制造領域里,算是 “關鍵輔料”。像氨氣、硫化氫、磷化氫、硼烷這類氣體,不是強腐蝕、劇毒,就是易燃易爆,過濾環節不光要保證氣體純度,更得把泄漏、腐蝕這些安全隱患掐死。要是選不對過濾設備,不僅設備容易被...

實驗室超純氣體管道主要用于輸送電子級高純氣體(如高純氬氣、高純氦氣),應用于半導體材料制備、微電子實驗等高端領域,氣體純度直接影響實驗樣品的性能和檢測結果。

驗室氣源(如鋼瓶氣、空壓機)或長距離管道中可能夾帶的顆粒物和液滴,會磨損閥門、堵塞精密噴嘴或污染反應腔室。安裝F直通型過濾器可有效攔截這些污染物,保護下游設備。恒歌過濾器適用于實驗室氣路、實驗室氣體管道、實驗室集中供氣系統工程。
