VCR（Vacuum Coupling Retainer）過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。

保護(hù)精密氣體系統(tǒng)的可靠解決方案：（1）這種全金屬過濾器專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可與 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊片接口無縫兼容。2） 墊圈式設(shè)計(jì)確保安裝簡(jiǎn)便，是 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓...

高純氣體，半導(dǎo)體行業(yè)八大核心材料之一，是繼硅片之后，半導(dǎo)體制造過程中第二大材料。縱觀半導(dǎo)體制造整個(gè)過程，如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等環(huán)節(jié)，高純氣體都不可或缺。隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)不斷向納米級(jí)乃至原子級(jí)邁進(jìn)，半導(dǎo)體制造過程中的氣體純度要...

直線過濾器采用316L不銹鋼材質(zhì)，線型結(jié)構(gòu)緊湊，用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體，以保護(hù)下游流體設(shè)備。最高工作壓力可達(dá)207bar；最高工作溫度204℃；多種過濾精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、...

BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損、過濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求，整體金屬構(gòu)造、是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

MF系列儀器保護(hù)專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì)、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護(hù)屏障。在高達(dá)400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...

KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...

HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經(jīng)高溫?zé)Y(jié)制成，具有良好的機(jī)械性和剛性，耐高溫、耐腐蝕、透氣，易于清潔的特點(diǎn)；濾芯式的設(shè)計(jì)可更換濾芯,可以重復(fù)使用，使用壽命長(zhǎng)；可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質(zhì)，改善下游干燥機(jī)的功能，延長(zhǎng)精密...

在半導(dǎo)體行業(yè)，氣源的純凈度、穩(wěn)定性和潤(rùn)滑性對(duì)于保證生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。恒歌不銹鋼氣動(dòng)三聯(lián)件由空氣過濾器、減壓閥和油霧器三大元件組成，采用不銹鋼材質(zhì)，具有耐腐蝕、結(jié)構(gòu)精巧、工藝精良等特點(diǎn)。以下是恒歌不銹鋼氣動(dòng)三聯(lián)件在半導(dǎo)體行業(yè)...

在半導(dǎo)體制造的微觀世界里，哪怕是極其微小的雜質(zhì)顆粒都可能導(dǎo)致芯片出現(xiàn)嚴(yán)重的缺陷，從而影響整個(gè)電子產(chǎn)品的性能和可靠性。因此，對(duì)于高壓高純氣體輸送系統(tǒng)中的氣體純凈度有著嚴(yán)苛的要求，這使得專業(yè)的氣體過濾設(shè)備成為了關(guān)鍵所在，而恒歌 HF 系列高壓氣...

半導(dǎo)體氣體過濾器是一種專門的過濾裝置，用于去除半導(dǎo)體制造中使用的氣體中的顆粒、水分和碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)。

在半導(dǎo)體制造的復(fù)雜工藝體系中，氣體供應(yīng)的安全性至關(guān)重要。恒歌RF 系列多孔金屬限流器猶如一道堅(jiān)固的防線，守護(hù)著整個(gè)氣體輸送鏈路。它被巧妙地安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中，與不同規(guī)格的氣阻配件緊密協(xié)作。