0F系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數高純度半導體工藝氣體的兼容性。它適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒，在半導體、LED、光伏及MEMS設備連接中提供超高純度過濾，滿足閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

產品特點

1、整體316L不銹鋼結構

2、適合高溫應用

3、超高顆粒攔截率

4、高流量、高強度、穩定可靠

5、適用于多種工藝氣體

6、可選其它點位在線安裝，方便快捷

7、100%完整性測試

8、100%氨氣檢漏測試

產品參數