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高純半導體過濾器
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不銹鋼使用點氣體專用過濾器_哈氏合金在線式氣體過濾器

  • 恒歌 0F 系列在線式專用氣體過濾器作為點氣體專用過濾器中的佼佼者,是專為高流量電子級氣體超純凈化打造的。它有著高達 0.003μm 的過濾精度,能精準捕捉氣體中的微小顆粒,為工藝氣體的潔凈度保駕護航。該過濾器結構緊湊且強度高,這一特點讓它在安裝和使用過程中更加靈活可靠。同時,它與多種半導體工藝氣體都能良好兼容,對于大宗氣體及惰性氣體的過濾更是不在話下。
  • 產品詳情

在半導體制造過程中,工藝氣體的潔凈程度是決定產品質量的關鍵因素之一。哪怕是微小的顆粒雜質,都可能對精密的半導體器件造成不可逆的影響。恒歌的點氣體專用過濾器(如 0F 系列在線式專用氣體過濾器)以及哈氏合金在線式氣體過濾器,憑借出色的性能,成為半導體工藝氣體超純凈化的得力助手。

恒歌 0F 系列在線式專用氣體過濾器作為點氣體專用過濾器中的佼佼者,是專為高流量電子級氣體超純凈化打造的。它有著高達 0.003μm 的過濾精度,能精準捕捉氣體中的微小顆粒,為工藝氣體的潔凈度保駕護航。該過濾器結構緊湊且強度高,這一特點讓它在安裝和使用過程中更加靈活可靠。同時,它與多種半導體工藝氣體都能良好兼容,對于大宗氣體及惰性氣體的過濾更是不在話下。

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從材質來看,0F 系列在線式專用氣體過濾器采用全焊接 316L 不銹鋼外殼,濾芯材質為 316L 不銹鋼粉末燒結,殼體和墊片也都是 316L 不銹鋼材質。這樣的材質選擇,確保了它能與多數高純度半導體工藝氣體兼容,避免了材質與氣體發生反應而污染氣體的情況。而且整體 316L 不銹鋼結構,讓它能夠適應高溫環境,在使用過程中穩定可靠。

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在性能方面,它不僅有超高的顆粒攔截率,還具備高流量的特點,能滿足大流量氣體過濾的需求,同時運行穩定,不會給氣體傳輸帶來過多阻礙。安裝也十分便捷,可選其它點位在線安裝。更重要的是,每一個過濾器都經過了 100% 完整性測試和 100% 氨氣檢漏測試,從生產源頭保證了產品的質量,讓用戶使用起來更加放心。

這款點氣體專用過濾器適用于大流量特種氣體供應及超高純度氣棒,在半導體、LED、光伏及 MEMS 設備連接中,能提供超高純度過濾,很好地滿足了閥歧管箱、氣柜等工藝需求。

如果您需要點氣體專用過濾器或者哈氏合金在線式氣體過濾器,恒歌都能為您提供合適的產品。若您還想了解產品的其他信息,比如具體適用的更多工藝場景,歡迎告知。



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