1.設(shè)備介紹

硅晶圓工藝特氣管道系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造的核心輸送鏈路，負責將光刻、蝕刻、沉積等關(guān)鍵制程所需的特種氣體(如硅烷、氨氣、氟化氫等)精準輸送至晶圓加工設(shè)備，直接影響芯片良率和性能穩(wěn)定性，對氣體純度要求達 ppb 級。

2. 為何需要使用過濾器

硅晶圓制程中，特氣管道內(nèi)壁的微小塵埃、金屬雜質(zhì)、管道氧化層脫落物，以及氣體輸送過程中混入的液態(tài)微粒，會導(dǎo)致晶圓表面形成缺陷、電路短路或膜層不均勻，直接造成產(chǎn)品報廢。過濾器是阻擋污染物進入制程的最后一道關(guān)鍵屏障。

3. 過濾器介紹

恒歌 HF 系列硅晶圓工藝特氣管道專用過濾器，專為半導(dǎo)體制程特氣系統(tǒng)設(shè)計，采用 316L 不銹鋼一體成型結(jié)構(gòu)，設(shè)計壓力 50Mpa，適配特氣管道的高壓高純輸送需求，可高效濾除氣體中 0.01μm 以上的塵埃、金屬顆粒、液態(tài)雜質(zhì)及碳氫化合物，確保輸出氣體純度符合 SEMI 標準。

4. 產(chǎn)品特點

整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，無死角設(shè)計，避免二次污染

輕量化小型化，螺紋連接適配特氣管道緊湊安裝空間，兼容 C/W 型密封規(guī)格

耐高溫(-20℃~180℃)、耐高壓(50Mpa)、耐強腐蝕(適配酸性 / 堿性特氣)

過濾效率達 99.999%，不易堵塞，滿足長周期連續(xù)生產(chǎn)需求

100% 完整性測試及氨氣泄露檢測通過，符合半導(dǎo)體行業(yè)安全標準

濾芯可快速更換，維護不影響管道系統(tǒng)運行

5. 產(chǎn)品應(yīng)用

適用于硅晶圓制造中的光刻、蝕刻、離子注入、化學(xué)氣相沉積(CVD)等制程的特氣管道系統(tǒng)，涵蓋 12 英寸 / 8 英寸晶圓生產(chǎn)線的特種氣體凈化。

6. 常見問答

Q1：過濾器的過濾精度能達到多少?

A1：常規(guī)提供 0.01μm、0.1μm、1μm 多種濾芯規(guī)格，可根據(jù)特氣類型和制程要求定制，最高過濾精度達 0.003μm。

Q2：是否兼容腐蝕性特氣(如氟化氫、氯氣)?

A2：主體采用 316L 不銹鋼，濾芯可選 PTFE、陶瓷等耐腐蝕材質(zhì)，完全適配腐蝕性特氣場景。

Q3：維護周期是多久?

A3：根據(jù)氣體潔凈度和流量，常規(guī)維護周期為 6-12 個月，可通過壓差表監(jiān)測濾芯狀態(tài)(壓差>0.3Mpa 時建議更換)。

7. 選型引導(dǎo)

硅晶圓特氣管道系統(tǒng)的氣體類型、壓力參數(shù)、過濾精度需求各不相同，如需精準選型，可聯(lián)系恒歌技術(shù)團隊獲取定制方案!