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高純多孔金屬限流器
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多孔金屬限流器_半導體限流器

  • RF系列多孔金屬限流器、通過與不同規(guī)格的氣阻配件結合、安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統中、用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動負擔、避免氣體過載引發(fā)不良后果。結構堅因、更換便捷。
  • 產品詳情

RF系列多孔金屬限流器:壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中,保護氣體  流量穩(wěn)定可靠通過與不同規(guī)格的氣阻配件結合、安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導體制程氣體輸送分配系統中、用于保護氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動負擔、避免氣體過載引發(fā)不良后果。結構堅因、更換便捷。

多孔金屬限流器特點:

1、結構緊湊、節(jié)省空間

2、通過更換氣阻配件、可定制不同流量

3、流量控制可靠持久

4、可用于高流量、高溫度與高壓力環(huán)境、減少氣體流動負擔、不易堵塞、可形成層流整體316L不銹鋼結構、無結構彎曲或顆粒脫落

5、使用壽命長

6、100%氨氣泄露檢測通過

技術參數

濾芯材質316L不銹鋼粉末燒結殼體材質316L不銹鋼
流量范圍0.1sccm~40slpm最大工作壓差1500psig
精度+7.5% Base可重復性士0.1%
最高使用溫度460℃氦氣泄漏率1x10-9cc/min
密封面尺寸1/4"'VCR



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過濾替換頁-精細版_01.jpg

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