KF系列真空系統氣體過濾器易于安裝于真空系統，特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。

性能表現

在規范安裝及操作條件下，具備出色的穩定性，可確保產品完整性能夠達到 3.000.000 次循環，顯示出了較高的耐用程度和可靠性能。

應用場景

半導體設備接口：廣泛應用于諸如 CVD(化學氣相沉積)、PVD(物理氣相沉積)、Etch(蝕刻)、Epi(外延生長)等半導體設備接口，可見其在半導體制造相關環節有著重要作用。

各類真空室：涵蓋裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體等各類真空室的通風工作，并且適合在短時間內需要傳遞大量氣體流的場合，滿足多種不同的工藝需求和氣體處理情況。

產品特點

●減少工藝腔體排氣時的湍流

●適用于多種工藝氣體

●潔凈室環境內制造、測試、包裝

●100% 完整性測試通過

技術參數