?在半導體、光伏、新能源和制藥行業,超高純氣體過濾器已成為氣體輸送系統中不可或缺的組件。國際半導體設備與材料協會(SEMI)在 F20 與 F38 標準中明確指出,氣體管道中顆粒物濃度必須嚴格控制,否則將直接影響工藝良率和設備壽命。隨著芯片...

在半導體制造中,大宗氣體作為關鍵生產原料,其純度直接關系到晶圓制程的穩定性與產品合格率。深圳恒歌專注半導體領域需求,推出供應半導體大宗氣體終端晶圓制程工藝氣體全金屬氣體過濾器,專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用設計,以全金屬結構的可靠性與...

恒歌 0F 系列在線式專用氣體過濾器作為點氣體專用過濾器中的佼佼者,是專為高流量電子級氣體超純凈化打造的。它有著高達 0.003μm 的過濾精度,能精準捕捉氣體中的微小顆粒,為工藝氣體的潔凈度保駕護航。該過濾器結構緊湊且強度高,這一特點讓它...

恒歌高純高壓氣體專用過濾器是專為半導體制程中的高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統設計的高性能過濾設備,過濾精度高,耐高壓耐腐蝕耐高溫!

恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成,通過物理吸附相結合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,O2,CO,CO2,NMHC等雜質去除,并且在316L不銹鋼罐體中內置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。

恒歌高壓氣體專用過濾器、用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫...

半導體企業在發展過程中,會面臨不同階段的挑戰:新建產線時要搶工期、控成本;老舊設備升級時要兼顧適配性與性價比;多品類芯片生產時要應對不同工藝的差異化需求。這些挑戰中,工藝氣體過濾環節若掉鏈子,很容易拖慢整體進度。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體...

半導體制造涵蓋蝕刻、沉積、離子注入等多個工藝環節,不同環節對工藝氣體的壓力、溫度與純度要求各異,單一規格的過濾器難以滿足全場景需求。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過濾器,通過 F 型、T 型、W 型三大類型的細分設計,實現了對半導體多工藝...

在半導體高壓工藝氣路中,氣體的凈化與流量控制往往需要分開設備實現,不僅增加了氣路復雜度,還可能引入額外的泄漏風險。深圳恒歌研發的高壓雙卡套過濾器直通過濾閥,將 “高壓過濾” 與 “直通控制” 功能集成一體,為半導體高壓氣路提供 “凈化 + ...

在半導體、LED、光伏及MEMS等高科技產業中,氣體的純度對產品質量和生產效率有著至關重要的影響。恒歌科技憑借其在多孔金屬材料和精密燒結工藝領域的深厚積累,精心打造了專為高流量電子級氣體超純凈化設計的特氣柜電子氣氣體過濾器,為這些行業提供了...

電子氣作為半導體制造的 “血液”,其純度直接影響芯片的質量與性能。深圳恒歌的特氣柜電子氣氣體過濾器,專為半導體制程中的高壓高純氣體輸送系統和超高純氣體箱系統打造,為電子氣的潔凈輸送提供堅實保障。

在現代工業生產中,氣體的高純度是保證產品質量和生產效率的關鍵因素之一。深圳恒歌的高效高純分離納米氣體過濾器,采用先進的納米級過濾技術,能夠高效去除氣體中的微小雜質,確保氣體的高純度。該過濾器采用堅固的316L不銹鋼結構,設計壓力高達50Mp...
