在半導體產業飛速發展的今天,設備的精密程度與穩定性直接決定了產品的競爭力。深圳恒歌精心研發的墊片式過濾器,以其獨特的設計與卓越的性能,成為半導體氣體分配系統中保護精密設備的關鍵角色,為 MFC 模塊、精密閥門及穩壓設備構建起一道堅實的防污防線。
這款墊片式過濾器采用全金屬材質打造,整體選用 316L 不銹鋼結構,這一材質的選擇充分考慮了半導體行業的嚴苛環境。316L 不銹鋼具備極強的耐腐蝕性,能夠從容應對各種腐蝕性氣體的長期侵蝕,同時擁有出色的耐高溫性能,可在高達 400℃的環境下持續穩定工作。在半導體制造過程中,高溫、腐蝕性氣體等惡劣條件是常態,普通過濾器往往難以承受,而恒歌的墊片式過濾器則能在這樣的環境中堅守崗位,確保過濾效果不受影響。
安裝便捷性是恒歌墊片式過濾器的一大顯著優勢。它采用墊片式便捷安裝方式,作為表面密封的過濾器,無需進行額外的管道切割或焊接工作。這一設計極大地簡化了安裝流程,降低了安裝過程中的操作難度和時間成本。對于半導體工廠而言,設備的安裝與更換往往需要盡量縮短停機時間,以減少對生產進度的影響,恒歌墊片式過濾器的快速安裝特性完美契合了這一需求,讓設備維護變得更加高效。
在過濾性能方面,恒歌墊片式過濾器表現出色。其過濾精度≥0.3μm,能夠有效阻隔氣體中的微粒,防止這些微粒進入敏感的氣體組件。在半導體設備中,微小的顆粒污染可能會導致設備性能下降、壽命縮短,甚至引發泄漏等嚴重問題。恒歌墊片式過濾器憑借高效的過濾能力,能夠最大限度地減少微粒污染帶來的危害,延長設備的使用壽命,降低因設備故障導致的生產中斷風險。
考慮到不同半導體系統的需求差異,恒歌墊片式過濾器提供了豐富的選擇。它兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標準墊圈接口,能夠適配多種規格的氣體分配系統。同時,分為低壓型和高壓型兩種類型,適用于不同壓力環境的系統管路。
適用于高壓系統管路的墊片式過濾器,1/2’’規格的最大正向壓差可達 2.9Mpa,1/4'' 規格的最大正向壓差高達 10.4Mpa,流量范圍在 0~300slpm,可滿足高壓、大流量場景的過濾需求;適用于低壓系統管路(VCR 過濾墊片)的過濾器,最大使用壓力為 0.98Mpa,流量范圍在 0~100slpm,并且提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多種過濾精度選擇,能夠根據不同的工藝要求靈活搭配使用。
恒歌墊片式過濾器不僅可以在新建系統中安裝,還能在現有配管上直接安裝,無需對現有配管進行大規模改造。這一特性為半導體工廠的設備升級和改造提供了極大的便利,降低了升級成本,讓企業能夠以經濟高效的方式提升系統的過濾防護能力。
在半導體制造過程中,泄漏風險是必須嚴格把控的環節。微粒污染可能會磨損密封面,導致氣體泄漏,不僅影響生產安全,還會造成原材料的浪費和環境的污染。恒歌墊片式過濾器通過有效阻隔微粒,減少了微粒對密封面的磨損,從源頭上預防了因微粒污染導致的泄漏風險,為半導體工廠的安全生產提供了有力保障。
深圳恒歌始終致力于為半導體行業提供高品質的設備和解決方案,墊片式過濾器便是其中的佼佼者。它憑借全金屬材質的可靠性、便捷的安裝方式、高效的過濾性能以及豐富的適配選擇,成為半導體氣體分配系統中不可或缺的防污衛士,為半導體企業的穩定生產和產品質量提升保駕護航。
無論是在大規模的半導體生產基地,還是在精密的研發實驗室,恒歌墊片式過濾器都能發揮出色的性能,為各類精密設備提供持續可靠的保護。選擇恒歌墊片式過濾器,就是選擇了高效、可靠、經濟的防污解決方案,讓半導體設備在潔凈的環境中高效運轉,為產業的發展貢獻力量。
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